Dit is een fabricagetechniek waarmee met micromachining/MEMS-technieken, vrijstaande microkanalen kunnen worden gemaakt in een cleanroom. De flow sensor chip kan de flow rate meten van gassen. Andere thermische flowsensor chips moeten altijd worden gekalibreerd op het gas waarvoor ze toegepast worden. Ten opzichte van andere flow sensor chips heeft de SCT flow sensor de unieke eigenschap dat er op een eenvoudige manier tussen gassen kan worden omgerekend, wat een tijdrovende en dure kalibratiestap overbodig maakt. In 2022 heeft Bronkhorst de Flexi-Flow op de markt gebracht waarin de flow sensor wordt gevormd door deze thermische massa flow meter chip. Toepassing onder meer in bioreactoren voor de productie van vaccins en geneesmiddelen.
Wat is de technologie?
De Surface Channel Technology (SCT) is een fabricagetechniek waarmee met behulp van micromachining/MEMS-technieken vrijstaande microkanalen kunnen worden gemaakt in een cleanroom. De kanalen hebben typisch een diameter van 50 micron en een wanddikte van 1 micron. Door bovenop de microkanalen metaallagen aan te brengen kunnen diverse soorten sensoren worden gemaakt. Eén van die sensoren betreft een thermische massa flow meter chip, waarmee de flow rate van gassen kan worden gemeten. In april 2022 heeft Bronkhorst een instrument op de markt gebracht, de Flexi-Flow, waarin de flow sensor wordt gevormd door deze thermische massa flow meter chip.
Wat maakt het mogelijk?
De flow sensor chip kan zoals gezegd de flow rate meten van gassen. Andere thermische flowsensor chips moeten altijd worden gekalibreerd op het gas waarvoor ze toegepast worden. Ten opzichte van andere flow sensor chips heeft de SCT flow sensor de unieke eigenschap dat er op een eenvoudige manier tussen gassen kan worden omgerekend, wat een tijdrovende en dure kalibratiestap overbodig maakt. Tevens is de responssnelheid van de SCT flow sensor zeer snel. Last but not least kunnen in de SCT technologie ook andere sensoren worden geïntegreerd, zoals druksensoren, zodat naast de flow rate ook andere parameters kunnen worden gemeten.
Wat is de impact?
- De maatschappelijke impact is dat patiënten sneller, betere en goedkopere geneesmiddelen krijgen.
- Economische impact is dat het ecosysteem rondom de Universiteit Twente een boost krijgt: universitair onderzoek leidt tot producten, waardoor extra werkgelegenheid ontstaat bij de UT, Bronkhorst en het ecosysteem daaromheen van technisch hoogwaardige bedrijven (PHIX e.d.).