NWO kent een onderzoeksproject financiering toe binnen de KIC-call ‘Vraaggedreven Partnerschappen voor Consortia’. Het onderzoeksconsortium bestaande uit TU Delft, ARCNL en ASML kan starten met innovatief onderzoek dat zij gezamenlijk hebben bepaald: met een nieuwe techniek de kleinste details van halfgeleidercomponenten zichtbaar maken.
