ASML en de Technische Universiteit Eindhoven (TU/e) hebben op 25 januari 2023 een nieuwe fase in hun langdurige samenwerking aangekondigd. Dit omvat een gezamenlijk gedefinieerd onderzoeksprogramma, de bouw van een nieuwe ASML-onderzoeksfaciliteit op de TU/e-campus, inclusief de realisatie van een ultramoderne cleanroom.