'Democratisering' van geïntegreerde licht-elektronenbeeldvorming
Dit project ontwikkelt een MEMS-gebaseerde transmissie-elektronenprojectiekolom die naadloos integreert in standaard SEM-platforms en daarmee geavanceerde beeldvormingstechnieken zoals diffractie, low-energy STEM en fasecontrast mogelijk maakt binnen een compact en kostenefficiënt ontwerp. Door de complexiteit, kosten en omvang van elektronenoptica drastisch te verlagen, wordt multimodale licht-elektroneninspectie breed toegankelijk. Deze doorbraak stelt onderzoekers en industrie in staat om beeldvorming op atomaire resolutie efficiënter uit te voeren en ondersteunt baanbrekende toepassingen in nanotechnologie, halfgeleiderdiagnostiek en biomedisch onderzoek.
Disruptieve innovatie en maatschappelijke impact
Het project wordt uitgevoerd via een publiek-private samenwerking tussen TU Delft, Delmic en toonaangevende hightech-MKB’s, waarbij expertise op het gebied van elektronenoptica, MEMS-fabricage en systeemintegratie wordt gecombineerd. Delmic speelt een centrale rol bij toepassingsgericht onderzoek en commercialisatie. Samen versnellen we de vertaling van fundamenteel onderzoek naar praktische oplossingen voor strategische domeinen. Door het ondersteunen van kritieke technologieën zoals fotonica, nanotechnologie en geavanceerde instrumentatie versterkt het project het NL hightech-ecosysteem, sluit het aan bij nationale en Europese prioriteiten en stimuleert het duurzame innovatie.