Determination of the state of target matter for EUV generation: advancing metrology

Topsector Holland High Tech financierde het project ‘Determination of the state of target matter for EUV generation: advancing metrology’. Projectpartners ARCNL, ASML, Amsterdam Scientific Instruments en Lambert Instruments zullen bijdragen aan de huidige ontwikkeling en optimalisatie van ASML EUV-bronnen, met name om de levensduur en uptime van dergelijke bronnen te vergroten.