Dit project betreft onderzoek aan micro Coriolis massa stromingssensoren teneinde een sensor te realiseren welke geschikt is voor alle relevante gassen en stromingsbereiken in de halfgeleiderindustrie. Hiervoor is een verbetering nodig van de nulpuntstabiliteit met een factor 100 en een reductie van het ruisniveau met een factor 10 ten opzichte van de huidige state-of-the-art.
Impact
We verwachten dat een verbetering van de nulstabiliteit met een factor 10 mogelijk is door een herontwerp van de sensor met optimale plaatsing van de uitleeselektroden. Over het geheel genomen verwachten we dat een verbetering met de gewenste factor 100 haalbaar is. Dit zal het mogelijk maken om alle relevante gassen te meten met een volledig schaalbereik van 5 sccm. Toch moet worden opgemerkt dat een verbetering met een factor 10 al voldoende zou zijn voor de meeste gassen, behalve He en H2.