ASML en TU Delft werken samen op het gebied van photo-acoustic subsurface atomic force microscopy (pass-AFM). In pass-AFM wordt de cantilever van een atomic force microscope als GHz ultrasound transducer gebruikt om daarmee, op eenzelfde manier als voor medische ultrageluid technieken , drie-dimensionale beeldvorming van een object te maken. Door de zeer hoge GHz frequenties en nanometer tranducer grootte, zorgt dit voor een unieke, nanometer ruimtelijke resolutie in drie dimensies.
Voor deze samenwerking, was het principe niet meer dan een idee. De intensieve samenwerking heeft ervoor gezorgd dat de belangrijkste knelpunten voor verdere utilisatie zijn opgelost. Binnen deze vernieuwde samenwerking zetten we de puntjes op de i en gaan we begrijpen waar de belangrijkste uitdagingen zitten qua reproduceerbaarheid van de metingen, iets wat zeer kritiek is voor gebruik in een industriele omgeving als een ASML machine.