Het HDA project is een samenwerking tussen ASML en de Technische Universiteit Eindhoven, gericht op het verbeteren van halfgeleiderproductieapparatuur en de ontwikkelingsprocessen daarvan door middel van geavanceerde ontwerpautomatisering. Door verschillende technische disciplines te integreren en gebruik te maken van AI, streeft het project naar een hogere efficiëntie, betere duurzaamheid en grotere concurrentiekracht van de Nederlandse halfgeleider- en maakindustrie.
Beoogde Resultaten
Het project zal nieuwe methoden ontwikkelen voor geautomatiseerd ontwerp en diagnostiek van halfgeleiderapparatuur. Dit omvat het creëren van tools voor functioneel en structureel ontwerp, prestatieoptimalisatie en supervisiecontrole. AI-technieken zullen worden gebruikt om systeemdiagnostiek te verbeteren, met als doel een beter begrip van legacy software, de architectuur van de apparatuur en de werking ervan. De verkregen kennis en inzichten bieden feedback voor de ontwikkeling van nieuwe en verbeterde systemen, ter ondersteuning van systeemevolutie. De projectresultaten zullen het technologische leiderschap van de Nederlandse academische wereld en industrie versterken.