Nieuwe metrologie voor fotonische productie
Oppervlakteruwheid in fotonische structuren zoals waveguides en metasurfaces beïnvloedt de prestaties aanzienlijk door ongewenste lichtverstrooiing te veroorzaken. Huidige meetmethoden, zoals Atoomkrachtmicroscopie en scanning elektronenmicroscopie, zijn traag, destructief en niet schaalbaar. NanoScatt introduceert een nieuwe techniek die gebruikmaakt van multi-golflengte polarisatie-scatterometrie om ruwheid snel en nauwkeurig over grote oppervlakken te meten, zonder schade aan de monsters. Dit maakt real-time monitoring en terugkoppeling tijdens productie mogelijk, wat de kwaliteit verbetert en materiaalverspilling vermindert.
Versterking van het Nederlandse fotonica-ecosysteem.
NanoScatt is een samenwerking tussen de Technische Universiteit Eindhoven en TeraNova b.v., waarin academische expertise en industriële kennis worden gecombineerd. Het project ondersteunt direct de Nederlandse hightechagenda door precisieproductie van fotonische geïntegreerde circuits en sensoren te verbeteren. Met sterke steun van industriële partners versterkt NanoScatt de internationale positie van Nederland in de fotonica en draagt het bij aan duurzaamheid door efficiëntere en betrouwbaardere productieprocessen.